在線微氧分析儀采用多種測量方式，這些方式根據具體的檢測原理和應用需求有所不同。以下是幾種主要的測量方式：
燃料電池法：
燃料電池法是通過電化學燃料電池來檢測氧氣。當氧氣擴散到電池的陰極時，產生的電流輸出與樣氣中的氧氣濃度成正比。這種方式適用于從ppb（十億分之一）到100%氧氣的應用，特別適合在氫氣、可燃物、碳氫化合物和惰性氣體等氣流中進行氧氣分析。
該方式的優點在于高靈敏度、精度和穩定的性能，能夠長時間穩定工作且維護量較小。
氧化鋯濃差電池法：
氧化鋯濃差電池法利用氧化鋯元件作為檢測器的關鍵部件。在高溫下（650℃~850℃），氧從高氧分壓側向低氧分壓側擴散，通過氧化鋯電解質形成氧離子，從而產生電勢差，這個電勢差即反映了氧氣濃度。
這種方法適用于常量至微量氧含量的測定，其優點在于量程范圍寬、使用方便、使用壽命長。然而，還原性雜質會影響微量氧的分析，導致分析結果偏低。
氣相色譜法：
氣相色譜法通過色譜柱系統分離空分氣體中的雜質來進行微量氧分析。該方法可以同時檢測多種雜質，但配置相對復雜，需要載氣和輔助氣。
氣相色譜法的優勢在于其分離能力強，可檢測多種雜質，但缺點是不能實現真正的在線實時監測，需要間斷檢測，設備系統復雜。
順磁氧分析法：
順磁氧分析法基于氧氣的順磁性，通過測量氣體在磁場中的磁化率來確定氧氣濃度。這種方法尤其適用于環境中氧氣濃度較高的場景。
順磁氧分析法的優點在于對氧氣的高選擇性和快速響應，但其設備和維護成本較高。
比色法和黃磷發光法：
比色法利用銅氨溶液進行比色分析，但操作復雜、準確度難以保證，不能實現自動在線分析。黃磷發光法則利用氧氣與黃磷氧化燃燒進行分析，具有快速、連續分析的特點，但因采用危險化學品且生成的產物具有腐蝕性，現在已很少采用。
